在真空系統中,我們經常遇到各種規格的法蘭，如 CF,KF,NW,ISO 等，這些系列法蘭都是用在真空系統中常用的密封連接方式，但是對這些法蘭的區分和使用很多朋友并不是很清楚，現在就這些問題與大家共同探討一下。
一 、CF系列
CF法蘭的英文名是Conflat Flang，它是一種用于超高真空中的法蘭連接，是一種金屬靜密封，可以承受高溫烘烤。CF 法蘭比較容易區分，主要是用在超高真空系統上的密封連接，其主要密封方式是金屬密封即銅墊片密封。需要注意的是 CF 銅墊片在使用一次后密封效果會很差，如果對真空度要求較高的系統，法蘭每拆卸一次，就需要更換墊片。
公稱直徑尺寸包括：DN16, 40, 63, 100, 160, 200，250mm。適用的真空度*高達10-12mbar；法蘭密封材料通常為Viton、PTFE、無氧銅等，法蘭通常為304、316不銹鋼等。
二、KF 系列:
KF 是日常真空系統中比較常見的密封連接方式，主要應用在高真空系統中。規格從 KF10-KF50,通常情況下 KF 連接的管道尺寸是相對于英寸規格來說的。即 KF25 對應的管道管道是 25.4*1.65mm，依此類推(有的要求特殊管道，法蘭的焊接尺寸可以定制)。 KF *大的KF50（配管是 50.8*1.65mm)之后的真空連接就是 ISO 系列（ISO-K、ISO-F兩種）。
三、ISO 系列:
ISO-KF是應用在真空系統中的一種快卸法蘭。由以下幾個元件構成：兩個成對稱分布的KF法蘭、O-Ring、定心支架、卡箍。勿需使用別的工具，只要簡單地用手擰動碟形螺母就可以松開或壓緊聯接。
ISO-KF真空接頭是小尺寸的快裝法蘭接頭.公稱直徑尺寸包括：DN 10, 16, 25, 40， 50。
制造標準包括：DIN 28403，ISO 2861
適用的真空度*高達10-8 mbar。
法蘭密封材料通常為Viton、 Buna、Silicone、EPDM、鋁等
法蘭通常為304、316不銹鋼等
ISO-KF 真空接頭通常由法蘭(flang)、快夾(clamp)、密封圈(O-Ring)、中心定位環 (centering ring) 組成
ISO法蘭和配管可用于從大氣壓到高真空，經常裝拆的各種應用中。一般管子的直徑超過50mm(2英寸)。如果使用氟橡膠O形圈，可以承受150℃烘烤。
ISO法蘭常用的兩種形式是ISO-K、ISO-F兩種：
ISO-K和ISO-F真空接頭是大尺寸的真空接頭，公稱直徑尺寸包括：DN 63, 100, 160, 200, 250, 320, 400, 500 和630mm；
制造標準包括：DIN 28404 ，ISO 1609；
可應用在要求真空度高達10-8 mbar的場合；
法蘭密封材料通常為Viton、 Buna、Silicone、EPDM、鋁絲等
法蘭通常為304、316不銹鋼等。
a、ISO-K真空接頭通常由法蘭(flang)、法蘭爪(clamp)、密封圈(O-Ring)、中心定位環 (centering ring) 組成，如下圖:
用于高真空系統中的配件，*小規格是 ISO63（配管是 63.5*1.65mm）再往后面是 ISO80、ISO100、 ISO160 直至 ISO320 甚至更大規格，鏈接方式是雙卡頭鏈接,主要是兩個 ISO 的法蘭片，中間加密封圈，然后用四個雙卡頭卡住法蘭片進行連接。要注意的是通常情況下 ISO 系列的密封圈相對于 KF 系列的真空密封圈除了有中心支架和氟橡膠材質的密封圈外，還多了一個鋁制的彈簧外圈，其主要作用是防止密封圈滑脫，因為 ISO 系列的管路尺寸相對較大，密封圈套在中心支架上面受到機臺的震動或者溫度的影響，如果沒有固定的話會滑脫，影響密封。
b、ISO-F真空接頭通常由法蘭(flang)、密封圈(O-Ring)、中心定位環 (centering ring) 組成，如下圖: 與ISO-K不同的地方是法蘭用螺栓堅固。
四、NW 系列:
NW 同樣是用在高真空系統中的真空配件，是日本的規范，所以 NW 的真空配件在日企或者日本設備里面用到的相對來說多一些。前面我們說過，ISO 系列的是兩片 ISO 的法蘭片和四個雙卡鉤進行連接。
而 NW 的鏈接方式是兩片 NW 的法蘭在一起，用鏈式卡箍進行連接（ N63 的法蘭外觀上就是大一號的NW50 的法蘭）。